특수가스

특수가스의 종류

반도체용가스(Gases for Semicoductor Fabrication Process) 

반도체 제조 및 연구용, TFT-LCD 제조용으로 사용되는 반도체용 특수가스는 종류가 다양하며 초고순도가 요구됩니다.

 당사는 주요가스별로 국내제조 및 수입을 통해 철저한 품질관리를 거쳐 수요처에 공급 하고 있습니다. 또한 각 가스별 주요 메이커와 직거래를 통해 제품판매 경쟁력 확보에 주력하고 있습니다.

용도

• 반도체 제조 

• 각종 금속열처리. 분위기가스 반도체 제조 연구

 

종류

 • SiH4. SiH2C12. Si2H6 AsH3. B2H6. CI2

 • BCI3, BF3. PH3, WF6, N20, NH3

 • CF4. CO. C3F8. C4F8

 • HCI. SiCl4, SF6. NF3 

표준가스(Standard Gases)

각종 분석기의 보정, 공정관리 및 품질관리용으로 사용되는 표준가스는 미량성분의 혼합과 분석의 정밀도가 가장 중요합니다. 

당사 표준가스는 철저한 품질관리와 정밀 분석법으로 고객의 요구에 부응하고 있습니다.

용도

 • 대기오염 측정

 • 연소 실험

 • 자동차 배기가스 측정

 • 석유화학제조공정 감시용 분석기

 • 각종 분석기용 표준가스 

 

종류

 • CO-N2-CO2    • H2S-N2

 • CO-N2-02       • C3H8-N2

 • He - N2          • He - H2

 • P-I-A-N-O       • H2-Ar

 • C3H8-N2-O2   • CH4-N2-02

 • H2-N2            • CH4-Ar

 • C2H4-N2        • Others



고순도 순수가스(Pure Specilalty Gases)

반도체 산업. 석유화학, 금속 공업 등의 실험. 연구 및 생산용으로 사용되는 초고순도 순수가스 는 첨단 정제 및 충전 설비를 통하여 제조되어 수요처에 적기에 공급되고 있습니다.

용도

 • 각종 분석기

 • 반도체산업

 • 전구 봉입용

 • 금속의 분광 분석기 

 

종류

 • N2: 99.9999%

 • O2: 99.995%. 99.9999%

 • Ar: 99.9999%

 • H2 : 99.9999%

 • He : 99 0999%

 • CO2: 99.999%

기타특수가스

각종 특수가스를 공급하고 있습니다.

용도

 • SF6(육불화황) : 전기절연용 등

 • CH4(메탄) : 연소용, 연소기기시험용. 금속열처리용, 화학제품원료 등

 • HCI : 제약합성 등

 • Kr : 특수전구용

 • No : 특수전구용

 • Xe : 특수전구용

 • 기타

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