특수가스
특수가스의 종류
반도체용가스(Gases for Semicoductor Fabrication Process)
반도체 제조 및 연구용, TFT-LCD 제조용으로 사용되는 반도체용 특수가스는 종류가 다양하며 초고순도가 요구됩니다.
당사는 주요가스별로 국내제조 및 수입을 통해 철저한 품질관리를 거쳐 수요처에 공급 하고 있습니다. 또한 각 가스별 주요 메이커와 직거래를 통해 제품판매 경쟁력 확보에 주력하고 있습니다.
용도
• 반도체 제조
• 각종 금속열처리. 분위기가스 반도체 제조 연구
종류
• SiH4. SiH2C12. Si2H6 AsH3. B2H6. CI2
• BCI3, BF3. PH3, WF6, N20, NH3
• CF4. CO. C3F8. C4F8
• HCI. SiCl4, SF6. NF3
표준가스(Standard Gases)
각종 분석기의 보정, 공정관리 및 품질관리용으로 사용되는 표준가스는 미량성분의 혼합과 분석의 정밀도가 가장 중요합니다.
당사 표준가스는 철저한 품질관리와 정밀 분석법으로 고객의 요구에 부응하고 있습니다.
용도
• 대기오염 측정
• 연소 실험
• 자동차 배기가스 측정
• 석유화학제조공정 감시용 분석기
• 각종 분석기용 표준가스
종류
• CO-N2-CO2 • H2S-N2
• CO-N2-02 • C3H8-N2
• He - N2 • He - H2
• P-I-A-N-O • H2-Ar
• C3H8-N2-O2 • CH4-N2-02
• H2-N2 • CH4-Ar
• C2H4-N2 • Others
고순도 순수가스(Pure Specilalty Gases)
반도체 산업. 석유화학, 금속 공업 등의 실험. 연구 및 생산용으로 사용되는 초고순도 순수가스 는 첨단 정제 및 충전 설비를 통하여 제조되어 수요처에 적기에 공급되고 있습니다.
용도
• 각종 분석기
• 반도체산업
• 전구 봉입용
• 금속의 분광 분석기
종류
• N2: 99.9999%
• O2: 99.995%. 99.9999%
• Ar: 99.9999%
• H2 : 99.9999%
• He : 99 0999%
• CO2: 99.999%
기타특수가스
각종 특수가스를 공급하고 있습니다.
용도
• SF6(육불화황) : 전기절연용 등
• CH4(메탄) : 연소용, 연소기기시험용. 금속열처리용, 화학제품원료 등
• HCI : 제약합성 등
• Kr : 특수전구용
• No : 특수전구용
• Xe : 특수전구용
• 기타